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北方华创刻蚀机1000腔顺畅交给:12英寸已完成客户端28nm国产化代替

浏览次数:1 次来源:BOB.COM    发布时间:2024-04-05 20:01:21

  据北方华创官方发布, 12 月 1 日,北方华创 lCP 刻蚀机 1000 腔交给典礼在亦庄基地隆重举行。

  IT之家得悉,北方华创公司于 2001 年建立,开端组成团队研究刻蚀技能,2004 年首台设备完成成功起辉,2005 年第一台 8 英寸ICP 刻蚀机在客户端上线 年取得国家科学技能进步二等奖。

  在集成电路范畴取得打破的一起,北方华创在活跃将刻蚀技能横向拓宽,现在运用范畴已掩盖集成电路、LED、先进封装、功率半导体MEMS、化合物半导体、硅基微显等多个范畴。12 英寸 ICP 刻蚀机在完成客户端 28nm 国产化代替一起,在 14/7nm SADP/SAQP、先进存储器、3D TSV 等工艺运用中也发挥着重要作用。

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  、薄膜、清洗、热处理、晶体生长等中心技能装备,大范围的运用逻辑部件,存储半导体零部件、先进封装、第三代半导体照明、微机电体系、新式显现、新能源,衬底资料制作等工艺进程。

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  和化学机械抛光等工艺过程的大幅度增加,在晶圆的边际造成了不可避免的副产物及残留物堆积,这些晶边堆积的副产物及残留物骤增导致的缺点危险成为产品良率的严重威胁。

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